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EMMI（微光显微镜）

EMMI（微光显微镜）

对于失效分析而言，微光显微镜是一种相当有用，且AG九游登录(集团)有限公司官网极高的分析工具，主要侦测IC内部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination会放出光子，例如：在PN Junction加偏压，此时N的电子很容易扩散到P，而P的空穴也容易扩散至N，然后与P端的空穴做EHP Recombination。

侦测到亮点之情况：

1.漏电结；2.解除毛刺；3.热电子效应；4.闩锁效应； 5.氧化层漏电；6.多晶硅须；7.衬底损失；8.物理损伤等。

测试内容：

1.P-N接面漏电，P-N接面崩溃；

2.饱和区晶体管的热电子；

3.氧化层漏电流产生的光子激发；

4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD。

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