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2023-08-22
（1）光刻和刻蚀技术 传统的用于制作半导体及集成电路芯片的光刻和刻蚀技术，是微流控芯片加工工艺中最基础的。它是用光胶、掩膜和紫外光进行微细加工...
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2023-08-21
近几十年来，等离子刻蚀技术已取得了长足发展。利用等离子刻蚀技术，人们得以准确地雕刻器件结构，从而为晶体管尺寸的缩小以及性能的提升提供了保障。...
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2023-08-18
离子注入工艺是集成电路制造的主要工艺之一，它是指将离子束加速到一定能量（一般在keV 至Mev 量级范围内)，然后注入固体材料表层内，以改变材料表层...
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