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石英掩膜版

苏打玻璃常用在STN-LCD、TN-LCD、FED、EL行业专用光学掩模版基材

类别	石英掩膜版
常规尺寸(mm)	3"X3", 4"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”
	450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm
最大尺寸(mm)	850*1200
特殊尺寸(mm)	按客户要求定做（XY=20~609mm）
基材厚度(mm)	2.3 3.0 5.0 6.4 8.0
铬膜类型	ARC Anti-Reflective Chrome
热性能（℃）	1730℃
温度收缩系数	5.0*10-7 /℃ (20~200℃)
透过率	>90%(T=2.3mm；l=200nm）
折射率	1.46
垂直入射反射率	约2%（片面反射约1%）
耐酸性能	H2SO4(80℃,98%) 0.0Å/min
耐碱性能	NaOH（Wt2%）0.4Å/min
表面平整度	<20um（4004003.0mm)

小尺寸铬版（≤9英寸）
类别	超高精度/高精度（228.6mm*228.6mm）					中精度/低精度（228.6mm*228.6mm）
类别	线缝尺寸（μm）	线缝精度（μm）	垂直度（urad）	总长精度（μm）	位置精度（μm）	线缝尺寸（μm）	线缝精度（μm）	垂直度（urad）	总长精度（μm）	位置精度（μm）
石英	≥1	≤0.5	≤0.5	<0.3	≤0.1	≥3	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.2

大尺寸铬版（>9英寸）
类别	超高精度/高精度（400mm*450mm）					中精度/低精度（400mm*450mm）
类别	线缝尺寸（μm）	线缝精度（μm）	垂直度（urad）	总长精度（μm）	位置精度（μm）	线缝尺寸（μm）	线缝精度（μm）	垂直度（urad）	总长精度（μm）	位置精度（μm）
石英	≥2	≤0.5	≤0.5	≤0.75	≤0.5	≥5	≤1	≤1	≤1	≤0.75

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