微纳设计制造-澳门论坛626969oom氵- 626969oom澳门·科技有限公司
微纳设计制造-澳门论坛626969oom氵- 626969oom澳门·科技有限公司 专业微纳加工
澳门论坛626969oom氵- 626969oom澳门·科技有限公司
本企业通过ISO9001质量管理体系认证

联系电话：0512-62996316

MEMS加工

为成就您的产品，而努力

Work hard to make your product

光刻
  • 接触式光刻
    最小图形尺寸：1μm，套刻精度：±0.5μm
  • 步进式光刻
    投影比例1:5，最小图形尺寸：0.35μm 套刻精度≤0.15μm(X,Y)，曝光范围<22.5*22.5mm
  • 电子束光刻
    最小图形尺寸：10nm，套刻精度：40nm 曝光范围<直径75mm
  • 双面对准光刻
    最小图形尺寸：1μm，正面套刻精度：±0.5μm 背面套刻精度：±0.5μm
  • 匀胶/显影
    正胶：50nm~20μm，负胶：50~400nm
  • 喷胶
    单次厚度<2μm
  • 热板/烘箱
    热板温度<180℃，烘箱温度<350℃




案例展示


                                    

                 澳门论坛626969oom氵- 626969oom澳门·科技有限公司线@PMMA CD 8nm                二维光栅 with CD 50nm                  变直径澳门论坛626969oom氵- 626969oom澳门·科技有限公司盘 误差±5nm             Φ100um 光波导 线宽700nm








微流控芯片的制作技术（一）
微流控芯片的制作技术（一）

2023-08-22

（1）光刻和刻蚀技术 传统的用于制作半导体及集成电路芯片的光刻和刻蚀技术，是微流控芯片加工工艺中最基础的。它是用光胶、掩膜和紫外光进行微细加工...

查看更多
传感器的功能
传感器的功能

2023-08-21

通常将传感器的功能与人类的五大感觉器官相比拟： 光敏传感器——视觉 声敏传感器——听觉 气敏传感器——嗅觉 化学传感器——味觉 压敏、温敏、流体传...

查看更多
等离子体刻蚀面临的挑战
等离子体刻蚀面临的挑战

2023-08-21

近几十年来，等离子刻蚀技术已取得了长足发展。利用等离子刻蚀技术，人们得以准确地雕刻器件结构，从而为晶体管尺寸的缩小以及性能的提升提供了保障。...

查看更多
离子注入与传统热扩散工艺区别
离子注入与传统热扩散工艺区别

2023-08-18

离子注入工艺是集成电路制造的主要工艺之一，它是指将离子束加速到一定能量（一般在keV 至Mev 量级范围内)，然后注入固体材料表层内，以改变材料表层...

查看更多
| | | | | | | | | | | | | | | | | | | |
  • 联系我们
  • 联系电话：0512-62996316
  • 传真地址：0512-62996316
  • 邮箱地址：sales@axlcc.com
  • 公司地址：中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区——苏州工业园区金鸡湖澳门论坛626969oom氵- 626969oom澳门·科技有限公司99号澳门论坛626969oom氵- 626969oom澳门·科技有限公司城西北区09栋402室
  • 关注与分析
澳门论坛626969oom氵- 626969oom澳门·科技有限公司 版权所有 Copyright 2020 澳门论坛626969oom氵- 626969oom澳门·科技有限公司 MEMS设计
一键拨号