产品中试

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精准医疗的MEMS——微流控技术
精准医疗的MEMS——微流控技术

2023-08-30

临床医学全面走向个性化医疗诊疗是当今医学发展的一大方向,精准的体外诊断技术是正确诊疗的基本保证。而体外诊断基本主要是基于体液(血液,尿液,唾...

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套刻误差 (Overlay)
套刻误差 (Overlay)

2023-08-30

光刻机的工作过程是这样的:逐一曝光完硅片上所有的场(field),亦即分步,然后更换硅片,直至曝光完所有的硅片;当对硅片进行工艺处理结束后,更换掩...

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等离子刻蚀的应用案例
等离子刻蚀的应用案例

2023-08-29

离子刻蚀主要应用在微电子制作工艺中,所有主要的处理对象是硅,用于精确图形转移。此外其还广泛应用于等离子刻蚀平板、薄膜刻蚀以及纤维刻蚀中。 1.精...

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微流控芯片的制作技术(二)
微流控芯片的制作技术(二)

2023-08-28

(2)热压法 热压法(hot embossing)是一种应用较广泛的快速复制电泳微通道的芯片制作技术,适用于PMMA与PC等热塑性聚合物材料。热压法的模具...

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