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MEMS加工

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镀膜
  • 低压化学气相沉积
    SiNx，片内均匀性：<±5%
  • 等离子增强 化学气相沉积
    SiO₂，SiNx，a-Si(B,P,Ge掺杂)
  • 感应耦合 化学气相沉积
    SiO₂，SiNx，SiC(低温、低应力镀膜)
  • 原子层沉积
    Al2O3、HfO2、AlN
  • 光学镀膜
    SiO2、MgF2、ITO、TiO2、Ta2O5、ZrO2、Al2O3
  • 溅射沉积
    Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Pt、Zn、Mo、W、Ta、Ru、Si、SiC、NiCr20、Nb
  • 电子束蒸发
    Ti，Al，Ni，Ag，Cr，Sn，Pt，AuGe
  • 热蒸发
    Sn，AuSn，Ag，Au

案例展示


                        

                      高密度金属Al厚膜                                金属膜沉积                       20nm HfO2  onto Si trenches                   Au Lift-off Process

                                                                                                                                    （AR=25）








精准医疗的MEMS——微流控技术
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2023-08-30

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等离子刻蚀的应用案例
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微流控芯片的制作技术(二）
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