聚焦离子束技术(Focused Ion beam,FIB)是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面,实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着AG九游登录(集团)有限公司官网科技的发展,AG九游登录(集团)有限公司官网尺度制造业发展迅速,而AG九游登录(集团)有限公司官网加工就是AG九游登录(集团)有限公司官网制造业的核心部分,AG九游登录(集团)有限公司官网加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束技术(FIB)利用高强度聚焦离子束对材料进行AG九游登录(集团)有限公司官网加工,配合扫描电镜(SEM)等高倍数电子显微镜实时观察,成为了AG九游登录(集团)有限公司官网级分析、制造的主要方法。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、离子注入、切割和故障分析等。